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潛心于半導電穩定性測試

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來源:admin 日子:2024-03-06 13:16 打開網頁量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖造成的源表P300+探頭臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:失敗試驗弧線圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:優化方案后測試弧線圖


2、三極管測試

測試設備:2臺整流源表S300+探頭臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:系統異常測試但是

出現異常原因:測量電極臺不等電位連接,測量電極臺機構上具有五金,在通電的的區域環境下易具有消除靜電,于是對測量結局受到危害

優化調整錯施:將測試探針臺利用電纜線和接入土地

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圖:優化方案后軟件測試結果

3、芯片測試

測試設備:直流電壓源表S300+檢測器臺

異常現象:源表未輸入輸出,探頭冒火焰

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圖:異常的檢驗-電極冒愛情火花

異常原因三同中軸線纜GUARD信息傾斜。GUARD信息如相連接有效,其電勢與信息層常見不一,全部漏電小,關鍵在于對信息帶來一堆定的維護意義;然而GUARD信息傾斜,其與信息層的電勢差太大,這類漏電太大,對信息的關系極大

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優化措施:將GUARD數據數據信息傳輸源表,使GUARD數據數據信息發揮護理效應

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:異常處理測試儀沒想到

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:優化方案后測試數據

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