1、前言

        在半導體質量裝修質量能力和ibms電路軟件系統技藝中，物料、晶圓、基帶芯片的各種各種測試方法方法是必不要少的步驟。現在半導體質量裝修質量能力各種各種測試方法方法能力的進步，數字6式源表SMU運用探頭臺的軟件系統結合就已被比較廣泛利用于物料/細微電子元器的電學特點效驗中。數字6式源表SMU必備源測功能模塊，就能夠引發瞬時電流-交流電壓(I-V)特點線性，是半導體質量裝修質量能力物料、電子元器電特點定量分析測定的中心；探頭臺有半自動、半自動和全自動哪幾種，給出各種各種測試方法方法須得進行生活配套的好產品能夠。在運用時須得準備探頭的質量并且針尖的內徑與圖形，探頭質量的不同，其輸出阻抗不雷同；還有就是，探頭尖損耗和環保問題也會對各種各種測試方法方法結杲引起印象。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT對接圖示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢測器臺與源表的連結典型有哪幾種，1種運行同中線連結，另1種運行三同中線連結。當估測小感應電流大小(nA、pA)時，應運行三同軸轉移傳感器和三同中線纜。在傳輸源表自我保護的終端的檢驗檢驗電路原理中，因此三同軸的自我保護的層與內芯之間是等電位差，不很有可能漏感應電打胎生，才能提高了小感應電流大小檢驗檢驗誤差。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2耐壓；3內屏幕層；4后面層；5外屏幕層；6外絕緣護套）

圖：三同中軸線纜等效電路板圖

  上圖已知為三同水平線材等效電路原理圖，效果高HI和Guard兩者之間的電位差差基本上為0，而使排除線材自我的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S產品直流電源源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸相接插件與高級兩芯相接插件有各種，可時候接駁數據、的接地和手機閉屏了層，手機閉屏了成果好。和多芯線材相較，三同軸網材形式簡單易行，是真的嗎高；和兩芯同軸網材相較，存在更快的手機閉屏了能和小數據的網絡傳輸效率。三同軸網材的相連到措施操作了GUARD數據，具備了手機閉屏了功效，更有益于小數據的測量方法。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

選用杜邦線轉BNC母頭開展連結；

- 三同軸連接 -

使用的三同軸電話轉接電源模塊進行聯系。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

會用到三同中心線做連接方式；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將平常的三同軸進行更換為高壓低壓專業級三同中線；高電壓力三同軸線管接頭的擊穿電壓程度極強，普賽斯安全使用的高電壓力三同軸線管接頭還可以擊穿電壓3500V。

圖：左-高電壓三同軸、右-常見的三同軸

HCPL 100大電流源表

大電壓電壓大小檢測的時，單根檢測器允許值的電壓電壓大小受限，電壓電壓大小過大可能性會帶來燒針后果，引響測量效果，因而須得運用多檢測器電容串聯。

圖：多測試探針電容串聯表示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電極材料相連關心

圖：異面電極材料聯系構造

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。